Komponenty węglowodorów krzemowych do urządzeń półprzewodnikowych

Komponenty węglowodorów krzemowych do urządzeń półprzewodnikowych

Karbid krzemowy HuaCera ma współczynnik rozszerzenia termicznego, który odpowiada współczynnikowi rozszerzenia krzemowego, posiada wysoki moduł elastyczności, wysoką sztywność, obojętność chemiczną, niezwykle wysoką odporność na zużycie,i stabilność termiczna wymiarowa.
Wykorzystując niedrogie metody formowania, takie jak suche tłoczenie i tłoczenie izostatyczne na zimno, przy zachowaniu wysokiego poziomu czystości (powyżej 99,9%),jest idealnym wyborem dla urządzeń stosowanych w litografii półprzewodnikowej, metrologia płytek, łączenie i czyszczenie
procesów.
Główne zastosowania obejmują: wyrzutnie próżniowe, precyzyjne elementy (koła kierownicze, platformy, podstawy), lustra z węglanu krzemu, nośniki, ramiona robotyczne i inne elementy konstrukcyjne,i mogą być również stosowane jako rury piecowe o wysokiej temperaturze.