|
Szczegóły Produktu:
|
| Podanie: | układy scalone, detektor / urządzenie czujnikowe, produkcja MEMS, komponenty optoelektroniczne i ogn | Średnica: | Ø 2" / 3" / 4" / 6" / 8" / 12" |
|---|---|---|---|
| Grubość tlenku: | 100 A ~ 6 μm | Stopień: | Prime/Test/dummy grade |
| Podkreślić: | Wafel z tlenkiem termicznym o wyższej jednorodności,wafel z tlenkiem termicznym jako izolator,wafel krzemowy z tlenkiem termicznym 2 " |
||
Wafel termiczny, wyższa jednorodność i wyższa wytrzymałość dielektryczna, doskonała warstwa dielektryczna jako izolator
Warstwa termicznego tlenku lub dwutlenku krzemu powstaje na gołej powierzchni krzemu w podwyższonej temperaturze w obecności utleniacza, proces ten nazywa się utlenianiem termicznym.Tlenek termiczny jest zwykle hodowany w poziomym piecu rurowym, w zakresie temperatur od 900°C do 1200°C, przy użyciu metody wzrostu „na mokro” lub „na sucho”.Tlenek termiczny jest rodzajem „hodowanej” warstwy tlenku, w porównaniu do warstwy tlenku osadzonej w CVD, ma wyższą jednorodność i wyższą wytrzymałość dielektryczną, jest doskonałą warstwą dielektryczną jako izolator.W większości urządzeń opartych na krzemie, termiczna warstwa tlenku odgrywa ważną rolę w pacyfikowaniu powierzchni krzemu, działając jako bariery domieszkujące i jako dielektryki powierzchniowe.dostarczamy wafel termiczny o średnicy od 2 "do 12", zawsze wybieramy wafel krzemowy o najwyższej jakości i wolny od wad jako podłoże do uprawy warstwy tlenku termicznego o wysokiej jednorodności, aby spełnić Twoje specyficzne wymagania.Skontaktuj się z nami, aby uzyskać więcej informacji na temat ceny i czasu dostawy.
Zdolność do tlenku ciepła
Zazwyczaj po procesie utleniania termicznego zarówno przednia, jak i tylna strona wafla krzemowego ma warstwę tlenku.W przypadku, gdy wymagana jest tylko jedna warstwa tlenku, możemy usunąć tylną warstwę tlenku i zaoferować Państwu jednostronny wafel z tlenkiem termicznym.
| Zakres grubości tlenku | Technika utleniania | W opłatku jednolitość |
opłatek do opłatka jednolitość |
Obróbka powierzchni |
|---|---|---|---|---|
| 100 Å ~ 500 Å | suchy tlenek | +/- 5% | +/- 10% | obie strony |
| 600 Å ~ 1000 Å | suchy tlenek | +/- 5% | +/- 10% | obie strony |
| 100 nm ~ 300 nm | mokry tlenek | +/- 5% | +/- 10% | obie strony |
| 400nm ~ 1000nm | mokry tlenek | +/- 3% | +/- 5% | obie strony |
| 1 μm ~ 2 μm | mokry tlenek | +/- 3% | +/- 5% | obie strony |
| 3 μm ~ 4 μm | mokry tlenek | +/- 3% | +/- 5% | obie strony |
| 5 μm ~ 6 μm | mokry tlenek | +/- 3% | +/- 5% | obie strony |
Aplikacja wafla z tlenkiem termicznym
| 100 A | Bramy tunelowe |
| 150 A ~ 500 A | Tlenki bramowe |
| 200 A ~ 500 A | LOCOS Pad Tlenek |
| 2000 ~ 5000 A | Maskujące tlenki |
| 3000 ~ 10000 A | Tlenki pola |
Specyfikacja produktu
| Technika utleniania Q | Utlenianie na mokro lub utlenianie na sucho |
|---|---|
| Średnica | Ø 2" / 3" / 4" / 6" / 8" / 12" |
| Grubość tlenku | 100 A ~ 6 μm |
| Tolerancja | +/- 5% |
| Powierzchnia | Jednostronna lub dwustronna warstwa tlenku; |
| Piec | Poziomy piec rurowy |
| Gaz | Gazy wodoru i tlenu |
| Temperatura | 900C° - 1200C° |
| Współczynnik załamania światła | 1.456 |
![]()
Osoba kontaktowa: Daniel
Tel: 18003718225
Faks: 86-0371-6572-0196